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半導体製造 / 半導体製造装置用セラミックヒータ PDFアイコンさらに詳しい解説記事を読む
(PDFセラミックス誌2008年7月号掲載記事)
発熱体を焼き物の板の中に入れて、燃えにくくしたヒーター。
物を加熱するヒータは低温では樹脂製や金属製のものが市販されている。しかしCPUやメモリ、携帯電話のロジック回路に用いられるLSIを製造するプロセスでは、製造中に腐食性の激しいガスを使用するため、前述のヒータでは耐久性に問題が生じる。また耐熱性にも限界があり、400℃以上の高温では変形等のため使用できない。アルミを窒化してできた窒化アルミニウムセラミックスは、耐食性に優れ、耐熱性も十分あり、また熱の伝導も良く(アルミより若干低い程度)温度が均一になるため、ウェハを載せて直接加熱するヒータとして好適である。




製品の使用用途 Si ウェハ加熱用ヒータ
見学可能な博物館など 特になし
Key-word 窒化アルミニウム,ヒータ,半導体製造装置
市場に出回った年代 1997年〜現在
*現在とは記事作成時(2008年7月時点での情報です)
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